Etude des mécanismes de gravure directe du métal pour le BEOL des nœuds ultimes sur SOI

Description du sujet de thèse

Domaine

Défis technologiques

Sujets de thèse

Etude des mécanismes de gravure directe du métal pour le BEOL des nœuds ultimes sur SOI

Contrat

Thèse

Description de l'offre

Le sujet s'inscrit dans le déploiement des technologies silicium au niveau européen (European Chips Act) porté par le CEA-Leti. Le sujet se focalisera notamment sur la mise à disposition de briques technologiques avancées pour le routage électrique (Back End of Line) des dispositifs logiques et analogiques.

La mise au point de circuits toujours plus performants requiert des interconnexions aux dimensionnels de plus en plus agressifs. L'utilisation de matériaux traditionnels de routage comme le cuivre est alors remise en question, de même que l'architecture des briques de back-end of line (BEOL). Ce sujet de thèse apporte une approche en rupture, nécessaire afin d'adresser ces dimensionnels ultimes.

L'objectif de cette thèse est donc de développer une brique technologique BEOL pour les nœuds avancés par gravure directe du métal. Après une simulation préalable des propriétés électriques des interconnexions réalisées avec différents métaux, le travail consistera à proposer et réaliser une intégration innovante. Il s'agira dans une première phase de définir le design des structures de test électrique et d'établir un schéma d'intégration. Ensuite, le travail se concentrera sur l'étude de la gravure directe du métal sélectionné en utilisant des procédés écoresponsables, tout en préservant les performances des procédés et du dispositif final. Le.la candidat.e pourra s'appuyer sur la cellule Eco-innovation pour réaliser une analyse du cycle de vie (ACV) comparative de cette brique.

Le contrat de thèse est d'une durée de 3 ans et se déroulera dans les salles blanches du CEA-Leti. Pour mener à bien cette étude, le.la candidat.e aura à sa disposition des équipements de dernière génération et un environnement de travail de pointe.

Université / école doctorale

Electronique, Electrotechnique, Automatique, Traitement du Signal (EEATS)
Université Grenoble Alpes

Localisation du sujet de thèse

Site

Grenoble

Critères candidat

Formation recommandée

Master2 en Physique, Nanosciences et nanotechnologies, Sciences des matériaux ou Génie électrique

Demandeur

Disponibilité du poste

01/10/2025

Personne à contacter par le candidat

DUBOIS Jérôme jerome.dubois2@cea.fr
CEA
DRT/DPFT/SPAT/LGRA
17 avenue de Martyrs 38054 Grenoble
04.38.78.56.42

Tuteur / Responsable de thèse

CHEVOLLEAU Thierry thierry.chevolleau@cea.fr
CEA
DRT/DPFT/SPAT/LGRA
17 avenue de Martyrs 38054 Grenoble
04.38.78.69.85

En savoir plus

https://www.leti-cea.com/cea-tech/leti/english/Pages/Welcome.aspx