Développement d'algorithmes et d'outils de modélisation pour des mesures de CD-SAXS à basse énergie

Description du sujet de thèse

Domaine

Défis technologiques

Sujets de thèse

Développement d'algorithmes et d'outils de modélisation pour des mesures de CD-SAXS à basse énergie

Contrat

Thèse

Description de l'offre

Le CEA-LETI est un des acteurs Européen principaux de l'industrie des semi-conducteurs. Avec sa plateforme de nano-caractérisation (PFNC) à Grenoble, il dispose d'un environnement de pointe avec un vaste éventail d'équipements à l'état de l'art. Nos équipes ont pour vocation d'accompagner le développement de nouveaux outils de caractérisation pour anticiper les besoins industriels (notamment autour des futurs nœuds technologiques). Ainsi, des travaux pionniers ont été réalisés autour du CD-SAXS sur la PFNC ces dernières années. Cette technique de diffusion/diffraction des rayons X permet de mesurer avec une précision sub-nanométrique les dimensions des nano-structures gravées dans les salles blanches du LETI. Dans le cadre de ce projet, nous proposons d'étendre l'approche CD-SAXS en utilisant les récents développements autour des sources basse-énergie de laboratoire (A. Lhuillier et al. 1988, prix Nobel 2023) appelées High Harmonics Generation (HHG) sources. Votre rôle sera de mettre en place les outils d'analyse spécifiques au développement de l'approche CD-SAXS à basse énergie. La première preuve de concept a été réalisée en Novembre 2023.

Mission:
Votre mission se concentrera sur plusieurs tâches:

1. Développer différents outils numériques pour le traitement de données :
1. Simulations éléments finis avec solver Maxwell
2. Transformée de Fourier analytique (similaire au CD-SAXS) vs théorie dynamique
3. Comparaison des différentes approches de simulations
2. Construire et tester des modèles dédiés aux problématiques en lithographie (CD, overlay, rugosité)
3. Définir les limitations de la technique par des simulations (notamment la résolution spatiale, les incertitudes de mesures)

Université / école doctorale

Ecole Doctorale de Physique de Grenoble (EdPHYS)
Université Grenoble Alpes

Localisation du sujet de thèse

Site

Grenoble

Critères candidat

Formation recommandée

Master 2 en physique numérique / mathématique appliqué

Demandeur

Disponibilité du poste

01/09/2025

Personne à contacter par le candidat

FREYCHET Guillaume guillaume.freychet@cea.fr
CEA
DRT/DPFT//LPMS
CEA, MINATEC Campus, 17 avenue des martyrs, F-38054 Grenoble Cedex
0438780456

Tuteur / Responsable de thèse

GERGAUD Patrice patrice.gergaud@cea.fr
CEA
DRT/DPFT//LPMS
CEA-Leti, MINATEC Campus,
17 rue des Martyrs - 38054 GRENOBLE Cedex 9, France

04 38 78 31 43

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